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火热的三大半导体设备

当前，全球存储芯片市场处于一轮罕见的价格快速上涨周期之中。这一现象的核心驱动力源于人工智能浪潮所引发的结构性供需矛盾。

TrendForce的研究指出，在2026年第一季度，DRAM制造商计划将大量先进制程产能转向服务器存储及HBM（高带宽内存）等AI相关领域，以应对AI服务器市场的迫切需求。

作为芯片产业的“卖铲人”，半导体设备行业正站在此次业绩兑现的风口上。Wind数据显示，半导体设备指数年内涨幅已达57.28%。

拓荆科技董事长吕光泉认为，存储价格上涨反映出市场仍存在较大需求缺口，从中长期来看，有望带动存储芯片制造厂持续扩大产能。数据量的快速增长正驱动HBM向三维集成等方向演进，3D NAND Flash芯片堆叠层数不断提高，技术发展趋势将同步抬升下游客户对先进硬掩模、关键介质薄膜以及相关薄膜沉积、键合设备的技术要求和采购需求。

伴随3D NAND、DRAM 及 HBM 等存储芯片技术的快速迭代，刻蚀、薄膜沉积、混合键合三类核心设备的需求将持续爆发，成为推动存储产业升级的关键支撑。

精密陶瓷零部件是支撑关键

据QY Research发布的最新报告中显示，预计2032年全球半导体设备用结构陶瓷市场规模将达到56亿美元，26-32未来几年年复合增长率CAGR为7.3%。先进陶瓷凭借优异的性能特点，广泛适用于半导体设备中“高温、高真空、强等离子体、耐腐蚀”的核心工艺腔体与关键子系统。

陶瓷静电吸盘

陶瓷静电吸盘是刻蚀设备和薄膜沉积设备中实现晶圆超稳吸附的核心部件，同时也在晶圆温度控制中起着关键作用。按照主体材料可分为氧化铝陶瓷和氮化铝陶瓷，一般用于刻蚀设备的静电卡盘也开始涉及高温制程，陶瓷材料就要从氧化铝转变为氮化铝。

陶瓷加热器

与陶瓷静电吸盘功能相近，陶瓷加热器是半导体薄膜沉积设备中的关键组件，它直接应用于工艺腔体中，与晶圆直接接触，不仅承载晶圆，还可以在成膜流程中均匀控制晶圆温度。基于该设备高温的使用环境，通常选用以氮化铝（AlN）为主的陶瓷材料，AlN不仅具有高导热性，能够在短时间内实现快速升温和降温，还具有良好的电绝缘性和机械强度，确保了加热器的稳定性和可靠性。

特殊陶瓷涂层

半导体精密涂层是通过等离子熔射、PVD等方式将氧化钇等陶瓷粉体材料涂覆在刻蚀、离子注入等设备的真空腔体内部核心零部件表面的技术。其作用是防止工件在等离子气体等恶劣环境下释放出污染物，污染晶圆，从而提高晶圆生产良率；同时防止工件被环境腐蚀损坏，从而增加工件使用寿命。

通常情况下，高纯度材料具有更好的物理化学性能和可靠性，耐刻蚀涂层的纯度越高，其一致性越好，刻蚀速率及颗粒污染物生成量越低。当前，Al₂O₃、Y₂O₃、YAG、YF₃、YOF和非晶玻璃等材料，因其独特的物理和化学特性，已被广泛用作耐等离子体刻蚀涂层的材料。

陶瓷聚焦环

聚焦环的作用是提供均衡的等离子，要求与硅晶圆有相似的电导率。以往采用的材料主要是导电硅，但是含氟等离子体会与硅反应生成易挥发的氟化硅，大大缩短其使用寿命，导致部件需要频繁更换，降低生产效率。SiC与单晶Si有相似的电导率，而且耐等离子体刻蚀性能更好，可以作为聚焦环的使用材料。

另外，据媒体报道，三星电子将B4C打造成新一代聚焦环材料，正在进行相关研发；国内湖北隆中实验室副研究员李彬介绍，他们成功研制出国内首个面向刻蚀机的新一代长寿命碳化硼陶瓷聚焦环。该成果耐刻蚀性能提升30%，服役寿命超过30天，显著优于主流碳化硅聚焦环（15～20天），同时保持优异的热稳定性和力学性能，技术达到国际领先水平。该项目是2025年8月在湖北实验室30项亮点科技成果集中发布中的一项，目前，该成果已与相关单位开展联合测试，有望重塑全球半导体核心部件市场格局。

陶瓷喷嘴

在化学气相沉积设备中，反应气体是通过连接腔体内外的陶瓷喷嘴进入到反应腔内的，因此喷嘴的品质会直接决定反应气体的纯度和流速。常用来制备陶瓷喷嘴的材料有氧化铝和氮化铝，由于氮化铝陶瓷的热导率和抗热震性比氧化铝更好，喷嘴不会因为等离子体腐蚀产生杂质污染，也不会因为热形变造成装配部件的磨损带来杂质污染，从而确保喷嘴不会对反应气体和反应腔体造成任何的杂质污染风险，可以更好地满足先进制程HDP-CVD设备中的应用要求。

窗视镜

刻蚀机窗视镜最初采用石英玻璃，但易被腐蚀变模糊；后改用Al₂O₃，但在含氟等离子体中仍会因生成Al-F化合物产生颗粒污染。Y₂O₃透明陶瓷耐腐蚀性好，但烧结性能差、成本高、机械性能不佳。YAG透明陶瓷综合性能更优，具有高透光率、良好的耐腐蚀性及机械性能，是更理想的替代材料。

来源：

半导体产业纵横：半导体设备，2026年最强风口

QY Research、粉体网、湖北隆中实验室

（中国粉体网编辑整理/空青）

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